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超微量气体流量计

超微量气体流量计

气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位,一方面,新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破,尤其是微电子技术的迅速发展,使微量气体计量由机械式向智能化、模块化方向发展,其应用范围得到了极大的扩展;另一方面,随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高,对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。

超微量气体流量计适用于检测微小气体流量,在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域有着广泛的应用。

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