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高真空镀膜机蒸发时回气大,怎么解决。是扩散泵问题吗?

高真空镀膜机蒸发时回气大,怎么解决。是扩散泵问题吗?

是真空计上显示真空上升把

这个不好说,首先材料放气也能引起,建议说的仔细点