金刚石喷雾抛光剂,在金相行业有时被成为金刚石抛光剂,金相抛光剂。金刚石喷雾抛光剂适合手动和半自动抛光,使用起来是非常方便的,是由金刚石微粉组成的。根据研磨的精细的程度,金刚石的粒度有大有小。粒度一般都是用微米来表示,粒度约小,越适合精抛,粒度约大,越适合粗抛,常用的金刚石粒度有0.5UM, 1UM,1.5UM,2.5UM,3.5UM,5UM ,7UM ,10UM ,14UM, 20UM, 28UM等 。另外,金刚石喷雾抛光剂配合金相抛光润滑冷却液使用,可以使样品的抛光效果则更加完美。除此此外,金刚石悬浮液,金刚石抛光膏都是用于研磨的,跟金刚石抛光剂都可以起到同样的抛光效果的。
一种水基纳米金刚石抛光液及其制造方法,主要成分包括:纳米金刚石、改性剂、分散剂与/或超分散剂、pH值调节剂、润湿调节剂、具有化学作用的添加剂及去离子水。其制造方法主要包括:1.通过机械化学改性,将纳米金刚石的团聚体分散成平均粒度为20~100nm的小聚集体,2.除去悬浮液中的粗颗粒和其它杂质;3.添加调节工件与抛光液润湿特性的调节剂(润湿剂)、分散稳定剂、pH值调节剂、具有化学作用的添加剂及去离子水,超声或/和搅拌分散。
该发明可用于各类光电子晶体、计算机硬盘基片、光学元器件及铜连接的半导体集成电路等的超精密抛光,将产品的表面粗糙度减小至亚纳米级。