《芯片封装方法》是南通富士通微电子股份有限公司于2010年11月5日申请的专利,该专利的公布号为CN102034720A,授权公布日为2011年4月27日,发明人是石磊、高国华、陶玉娟、舜田直实、目黑弘一。
《芯片封装方法》提供了一种芯片封装方法,包括步骤:提供半封装晶圆,所述半封装晶圆上具有切割道以及芯片的金属焊垫;在切割道上形成第一保护层;在金属焊垫上形成球下金属电极;在所述球下金属电极上形成焊球;沿所述切割道对晶圆进行划片。该发明所述的第一保护层能够使得切割道内的金属不被电镀析出,且在切割后能够保护分立芯片的侧面,工艺流程简单,提高了封装效率以及成品率。
2018年12月20日,《芯片封装方法》获得第二十届中国专利奖优秀奖。
(概述图为《芯片封装方法》摘要附图)
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