EDX是借助于分析试样发出冲穗型的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据波长测定试样所含的元素族弊，根据强度测定元散猜素的相对含量。常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。
EDX的工作原理
Simone
发布于 2023-12-04 13:50:31
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